為什么移動精密平臺可廣泛應(yīng)用于精密定位技術(shù)

添加時間：2016-6-30 8:02:00 作者：浙江金科機械傳動有限公司

移動精密平臺機構(gòu)品種很多，因工作性質(zhì)和用途不同，主要分成直線位移載物工作臺和回轉(zhuǎn)載物工作臺2類，有一維、二維或多維運動等，所謂的多維載物移動精密平臺實際都是在一維運動的基礎(chǔ)上復合而成。
（1）機械執(zhí)行機構(gòu)，是大行程的精密定位機械工作載物臺，經(jīng)常采用滾珠絲桿/ 螺母傳動和滾動導軌，由步進電機或伺服電機驅(qū)動，代替了傳統(tǒng)的滑動絲桿副和導軌副，獲得高精度直線位移和定位度，這類產(chǎn)品的售價都很貴，精度均在微米量級，不足于直接達到納米量級定位精度。
（2）直線電機執(zhí)行機構(gòu)，載物工作臺直接由直線電機驅(qū)動，兩者連為一體，結(jié)構(gòu)簡潔，避免了機械傳動系統(tǒng)，這在哈工大的精密定位機構(gòu)的研制工作中已經(jīng)獲得應(yīng)用。
（3）壓電陶瓷馬達執(zhí)行機構(gòu)，是新型的精密載物工作臺，臺面的側(cè)面裝有鋁整流子，由壓電陶瓷馬達將其推動，使臺面沿著導軌實現(xiàn)納米級精度往復運動，特點是：行程無限，5 nm的高分辨率，速度范圍寬1μm/s～250mm/s。
（4）柔性鉸鏈機執(zhí)行機構(gòu)，柔性鉸鏈利用了彈性材料微小角變形及其自回復的特性，消除了傳動過程中的空程和機械摩擦，能獲得超高的位移分辨率，并有很緊湊的機械結(jié)構(gòu)和很高的剛度，以及迅捷的響應(yīng)。它由壓電陶瓷驅(qū)動，可以實現(xiàn)納米量級微運動，移動精密平臺目前廣泛應(yīng)用于精密定位技術(shù)。為了克服壓電陶瓷驅(qū)動器伸長量較小的不足，通常采用杠桿放大機構(gòu)增加移動精密平臺的位移輸出。